真空電鍍時(shí)產(chǎn)生掉膜的原因很多也很復雜。處理起來(lái)很棘手，可以考慮從以下幾個(gè)方面排除：

1、表面清潔度

產(chǎn)品表面潔凈度不夠，可以考慮離子源清洗時(shí)氬氣放大、時(shí)間長(cháng)點(diǎn)。

2、清洗過(guò)程中的問(wèn)題

鍍前清洗不到位，或更換了清洗液。

3、工藝的問(wèn)題

工藝參數是否有變動(dòng)，在鍍膜時(shí)間和電流上做適當調整。

4、靶材的問(wèn)題

鈦靶是否中毒，檢查和更換。

5、真空腔是否漏氣

進(jìn)行一次撿漏。

6、產(chǎn)品表面氧化

氧化的原因很多，可以自行判斷處理。