是不是覺(jué)的知道了真空鍍膜原理就想著(zhù)回去試試，先不要著(zhù)急，來(lái)看看真空鍍膜中真空系統的工作原理，或許對你更有幫助。

真空鍍膜主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被成為基片，具體包括很多種類(lèi)，包括真空離子蒸發(fā)。

1,粗抽泵(統稱(chēng)機械泵)他的排氣口，直接排放到大氣，但極限(能力)小。范圍(1E0~大氣壓)。

2，羅茨泵，必須在排氣口接一個(gè)機械泵，工作范圍(5E-2~1000Pa),如果沒(méi)達到工作范圍(1000Pa)以上的真空度，運轉羅茨泵，使負載大，燒壞羅茨泵的。

3，分子泵(油擴散泵)：以擴散泵為例，工作范圍(1E-7Pa~5pa)，排氣口壓力高于5Pa(正常9E-1Pa),低于，擴散泵不起作用，還會(huì )使擴散泵油氧化。

4，粗抽閥，是機械泵開(kāi)啟后，開(kāi)啟粗抽閥。