一、真空鍍膜器材污染物的來(lái)源及清潔處理

真空鍍膜器材由許多不同的零件組成，它們都是經(jīng)過(guò)各種機械加工完成得，例如車(chē)、銑、刨、磨、鏜、焊接等。這樣，零件表面不可避免地會(huì )沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發(fā)，影響真空鍍膜設備的極限壓力和性能穩定性。此外，污染物的大氣壓下吸附了大量的氣體，在真空環(huán)境中，這些氣體也要被釋放出來(lái)，構成了限制真空鍍膜設備極限壓力的因素。為此，零件組裝前必須清除掉污染物。

二、真空鍍膜器材真空系統地清洗處理

1、油擴散泵真空系統地污染與防治

油擴散泵真空系統是使用最廣泛的真空系統，其獲得真空度范圍為1.3*10-3~1.3*10-5Pa。油擴散泵真空系統構成的各類(lèi)真空鍍膜設備，常見(jiàn)的故障是真空度抽不上去或真空度抽不到原來(lái)的極限壓力水平。真空度抽不上去的原因需要仔細分析，可能是活動(dòng)密封處松動(dòng)、焊縫漏氣、真空泵或真空閥門(mén)等元件損壞等原因所導致。此外，真空室內壁的油蒸汽污染，真空工藝過(guò)程各種污染物的污染也可能是主要原因。防止的方法是：定期清洗真空室。定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵進(jìn)行清理。

2、超高真空系統地烘烤與清洗

由濺射離子泵和鈦升華泵組成的真空系統是目前獲得清潔超高真空的主要抽氣手段，能獲得低于1.3*10-3Pa的壓力。中小型真空鍍膜設備真空系統以濺射離子泵作為主泵，大型真空系統以鈦升華泵做主泵。超高真空系統要求真空室內壁相當干凈，零件表面粗糙度要求高，材料放氣量要小。真空室零件要進(jìn)行嚴格地清潔處理，不要用手接觸零件表面。真空室的漏率也要嚴加控制。除此外，還要對真空室進(jìn)行烘烤。